VMZT系列平臺(tái)是一款具有四自由度的機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。專為后道曝光機(jī)及晶圓檢測相關(guān)的要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)計(jì)而設(shè)計(jì)。