ABXY-ZT4系列平臺(tái)是一款具有六自由度的氣浮、機(jī)械運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。專為后道曝光機(jī)及晶圓檢測(cè)、切片、退火等要求嚴(yán)格的半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)計(jì)而設(shè)計(jì)。

	X、Y采用氣浮軸承，運(yùn)行平穩(wěn)
	T軸：任意微轉(zhuǎn)動(dòng)，用于調(diào)平
	雙驅(qū)步進(jìn)軸具有被動(dòng)減震模塊
	Z軸：快速、精準(zhǔn)的對(duì)焦運(yùn)動(dòng)