VAG系列運動平臺是XIVI持續(xù)多年在高級材料、特有加工技術(shù)、精密結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計領(lǐng)域不斷投入后，專門為幫助當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備制造業(yè)實現(xiàn)高精度、高產(chǎn)出率目標而研發(fā)的系列平臺。高自主知識產(chǎn)權(quán)及精英的研發(fā)團隊，能確保我們的企業(yè)在迎接未來挑戰(zhàn)時， 始終保持領(lǐng)先的技術(shù)能力 。VAG系列運動平臺，非常能滿足在電子及半導(dǎo)體加工、檢測行業(yè)極具挑戰(zhàn)的嚴苛要求。

	掃描速度快
	線性編碼器反饋
	整定時間小
	全氣浮及真空預(yù)載