五軸半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，具有獨(dú)立可控的2個(gè)旋轉(zhuǎn)手臂。可支持2 FOUP到3 FOUP的EFEM的取片工作。該機(jī)器人具有高精度，高剛性。