采用直驅(qū)伺服電機的潔凈機械手、 Aligner，實現(xiàn)高Throughput。 Loadport可在Frame的前后和兩側(cè)增加各種Unit?？梢院蚈HT和Stocker直接對接。

	兼容200mm/300mm Wafer
	多種取放片方式可選
	可讀取Wafer上、下面ID
	OHT、Stocker可對應
	可選配邊緣檢測功能