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晶圓傳輸


特征
1699406847913470.png可對應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)FOUP 和 Auto Door FOSB  
1699406847913470.png獨(dú)創(chuàng)的開門系統(tǒng)和精密的動(dòng)作控制，實(shí)現(xiàn)高潔凈度性能



選配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngInfo pad pin 和 Lockout pin
1699406847913470.png外部I/O對應(yīng)
1699406847913470.png采用TCP/IP通信
1699406847913470.png指示燈可定制
1699406847913470.png200mm/300mm對應(yīng)
1699406847913470.png可對應(yīng)Barcode Reader、 RF-ID Reader









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為獨(dú)特需求，量身定制，確保每次都是完美匹配。
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